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X射线能谱法"EDS"是用于样品剖析和表征的剖析手艺。。。。通常通过配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用，，，，，，是用来对证料微区因素元素种类与含量举行剖析：使用电子束与物质作用时爆发的特征X射线，，，，，，来提供样品化学组成方面的信息，，，，，，可定性、半定量检测大部分元素（Be4-PU94），，，，，，可举行外貌污染物的剖析。。。。
在现代的扫描电镜和透射电镜中，，，，，，能谱仪（EDS）是一个主要的附件，，，，，，它同主机共用一套光学系统，，，，，，可对证料中感兴趣的部位的化学因素举行点剖析、面剖析、线剖析。。。。
（1）剖析速率快，，，，，，效率高，，，，，，能同时对原子序数在11—92之间的所有元素（甚至C、N、O等超轻元素）举行快速定性、定量剖析 ；；；；；
（2）稳固性好，，，，，，重复性好 ；；；；；
（3）能用于粗糙外貌的因素剖析（断口等） ；；；；；
（4）能对证料中的因素偏析举行丈量，，，，，，等等。。。。?
探头接受特征X射线信号→把特征X射线光信号转酿成具有差别高度的电脉冲信号→放大器放大信号→多道脉冲剖析器把代表差别能量（波长）X射线的脉冲信号按高度编入差别频道→在荧光屏上显示谱线→使用盘算机举行定性和定量盘算。。。。?
1、探测头：把X射线光子信号转换成电脉冲信号，，，，，，脉冲高度与X射线光子的能量成正比。。。。?
2、放大器：放大电脉冲信号。。。。?
3、多道脉冲高度剖析器：切脉冲按高度差别编入差别频道，，，，，，也就是说，，，，，，把差别的特征X射线按能量差别举行区分。。。。?
4、信号处置惩罚和显示系统：判别谱、定性、定量盘算 ；；；；；纪录剖析效果。。。。
1、定性剖析：EDS的谱图中谱峰代表样品中保存的元素。。。。定性剖析是剖析未知样品的第一步，，，，，，即判别所含的元素。。。。若是不可准确地判别元素的种类，，，，，，最后定量剖析的精度就毫无意义。。。。通常能够可靠地判别出一个样品的主要因素，，，，，，但关于确定次要或微量元素，，，，，，只有认真地处置惩罚谱线滋扰、失真和每个元素的谱线系等问题，，，，，，才华做到准确无误。。。。定性剖析又分为自动定性剖析和手动定性剖析，，，，，，其中自动定性剖析是凭证能量位置来确定峰位，，，，，，直接单击“操作/定性剖析”按钮，，，，，，即可在谱的每个峰位置显示出响应的元素符号。。。。自动定性剖析识别速率快，，，，，，但由于谱峰重叠滋扰严重，，，，，，会爆发一定的误差。。。。?
2、定量剖析：定量剖析是通过X射线强度来获取组成样品质料的种种元素的浓度。。。。凭证现真相形，，，，，，人们追求并提出了丈量未知样品和标样的强度比要领，，，，，，再把强度比经由定量修正换算成浓度比。。。。最普遍使用的一种定量修正手艺是ZAF修正。。。。?
3、元素的面漫衍剖析：在大都情形下是将电子束只打到试样的某一点上，，，，，，获得这一点的X射线谱和因素含量，，，，，，称为点剖析要领。。。。在近代的新型SEM中，，，，，，大多可以获得样品某一区域的差别因素漫衍状态，，，，，，即：用扫描视察装置，，，，，，使电子束在试样上做二维扫描，，，，，，丈量其特征X射线的强度，，，，，，使与这个强度对应的亮度转变与扫描信号同步在阴极射线管CRT上显示出来，，，，，，就获得特征X射线强度的二维漫衍的像。。。。这种剖析要领称为元素的面漫衍剖析要领，，，，，，它是一种丈量元素二维漫衍很是利便的要领。。。。
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