SEM+EDS测试原理：
SEM：使用阴极所发射的电子束经阳极加速，，，由磁透镜加速后形成一束直径为几十埃到几千埃的电子束流，，，这束高能电子束轰击到样品外貌会引发多种信息，，，经太过别网络，，，放大就能从显示屏上获得种种响应的图像。。。。。。
EDS： 入射电子束可停留在被视察区域上的任何位置.X射线在直径1微米的体积内爆发,可对试样外貌元素的漫衍举行质和量的剖析。。。。。。
主要检测
1.外貌微观结构视察及细小颗粒物尺寸量测（可达3nm的剖析度）；；； ；
2.微薄镀层厚度丈量（优异的前处置惩罚，，，可丈量0.18nm甚至更低膜厚）；；； ；
3.外貌失效剖析（污染、异色、侵蚀、损伤等检测）；；； ；
4.外貌相剖析、夹杂物判别等；；； ；
5.金属断口剖析；；； ；
6.焊接或合成界面剖析；；； ；
7.锡须视察。。。。。。
参考标准：
GB/T 17359-1998电子探针和扫描电镜X射线能谱定量剖析通则
GB/T 16594-1996微米级长度的扫描电镜丈量
JY/T 010-1996剖析型扫描电子显微镜要领通则
JESD-22a121.01丈量锡和锡合金质料外貌晶须生长的测试要领
电镜铝球
场扫描电镜对样品要求
样品要尽可醒目燥，，，若样品中含有水份，，，水分挥发会造成仓内真空度急剧下降，，，导致图像漂移，，，有白色条纹，，，甚至会影响灯丝寿命；；； ；
热稳固性好，，，热稳固性差的样品往往在电子束的轰击下剖析，，，释放气体和其他物质，，，污染电镜；；； ；
导电性好，，，导电性差的样品会爆发荷电效应，，，造成图像畸变，，，亮点亮线，，，像散等；；； ；
不含强磁性，，，强磁性的样品视察一样平常会泛起严重的像散，，，无法消去，，，磁性粉末若是粘的不牢靠还可能会吸附到探头上，，，损害电镜。。。。。。
断口扫描
透射电镜对样品的要求
1. 样品一样平常应为厚度小于100nm的固体。。。。。。
2. 样品在电镜电磁场作用下不会被吸出，，，附于极靴上。。。。。。
3. 样品在高真空中能坚持稳固。。。。。。
4. 不含有水分或其它易挥发物，，，含有水分或其他易挥发物的试样应先烘干。。。。。。
TEM样品常安排在直径为3mm的200目载网上
纳米粉末样品的制备要领
1、研磨法
将（研磨后的）粉末放在去离子水或无水乙醇溶液里，，，用超声波疏散器将需要视察的粉末疏散成悬浮液。。。。。。
用滴管滴几滴在笼罩有支持膜的电镜载网上，，，待其干燥(或用滤纸吸干)后, 即成为电镜视察用的粉末样品。。。。。。
载网种类：
方华支持膜：方华支持膜的化学因素是聚乙烯醇缩甲醛，，，由于是纯的有机 膜，，，以是膜的弹性好，，，厚度通常为 10nm 左右，，，透射电镜视察时背底影响小。。。。。。但方华膜因导电性欠好，，，在电子束照射下，，，易因高温或电荷积累，，，爆发样品漂移甚 至膜破损，，，通常在 100kV 电镜和生物样品中使用较多。。。。。。
碳支持膜：是一种最常用的支持膜，，，有两层膜结构。。。。。。从下至上依次为裸网、方华膜和碳膜，，，由于碳层具有较强的导电性和导热性，，，填补了无碳方华膜的荷电效应以及热效应，，，增强了膜整体的稳固性，，，适合大大都纳米质料和生物样品的一样平常形貌视察用于通例样品制样。。。。。。
微栅：在膜上制作出微孔，，，以便使样品搭载在微孔边沿，，，使样品“无膜”视察，，，提高图象衬度。。。。。。视察管状、棒状、纳米团圆物效果好，，，特殊是视察这些样品的高区分像及mapping时更是最佳选择。。。。。。
超薄碳膜：在微栅的基础上叠加了一层很薄的碳膜，，，一样平常为3-5纳米。。。。。。这层超薄碳膜的目的是用超薄碳膜把微孔堵住。。。。。。主要针对粒度较小的纳米质料。。。。。。如10纳米以下疏散性很好的纳米质料，，，若是用微栅可能从微孔中漏出，，，若是在微栅孔边沿，，，由于膜厚可能会影响视察。。。。。。以是用超薄碳膜就会获得很好的效果。。。。。。
纯碳膜：当样品所用的有机溶剂（氯仿、甲苯等）能够消融方华膜时，，，载网膜中就要去除方华膜，，，只剩碳膜，，，称为纯碳膜，，，碳膜的厚度通常为 20nm 左右，，，在高区分视察时背底的影响也较量显着。。。。。。
双联载网支持膜：将两片载网膜连在一起，，，负载样品后，，，将样品夹住�。。。。。纬扇髦蔚慕峁梗銮苛硕匝返睦慰浚帽扔τ糜诖判宰恿峡勺柚蛊湮降酵干涞缇档募ド稀�。。。。。
载网膜的选择
由上述先容的载网膜的结构及特点，，，可凭证样品的特征选择合适的载网膜，，，汇总如下表所示，，，需要说明的是一些特殊情形：
（1） 用能谱剖析铜元素时，，，不可选用铜载网，，，要选用镍、钼等其他材质的载网膜，，，同理剖析碳元素时，，，要用氮化硅膜。。。。。。
（2）在做高分子、生物样品切片后需要染色时要用裸网或微栅，，，由于染色剂通�；；； ；崛痉交ぁ�。。。。。
（3）在负载一些二维偏向标准较大的薄膜样品时，，，好比大面积的石墨烯膜、有机膜，，，若是用碳支持膜背底影响较大 用微栅膜在低倍视察时有微栅孔的结构，，，因此可选用目数较高的裸网，，，如 1000 目、2000 目的铜裸网。。。。。。
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